半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等。在這些工藝中，要用有機(jī)溶液(如異丙醇)清洗晶片表面，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一。同時(shí)，光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯，在晶片加工過(guò)程中也會(huì)揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣的另一個(gè)來(lái)源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機(jī)成分。在此過(guò)程中，這些有機(jī)溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附，蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，處理各種有機(jī)廢氣，并通過(guò)熱氧化將有機(jī)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí)焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流被加熱，氣相中的有機(jī)物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用，通常使用熱交換器來(lái)回收焚燒產(chǎn)生的熱量，以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2，使催化劑鈍化，所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)！RTO的安全始終放在設(shè)計(jì)制造的重要地位。遼寧三塔蓄熱式焚燒爐廠家
企業(yè)的VOCs成分復(fù)雜多樣。氣量不穩(wěn)定，尤其是精細(xì)化工等企業(yè)的間歇生產(chǎn)，使得有機(jī)廢氣的濃度和體積呈間歇性變化。因此，在收集技術(shù)資料時(shí)，應(yīng)充分了解企業(yè)的生產(chǎn)工藝和廢氣的主要來(lái)源，并根據(jù)企業(yè)的實(shí)際情況合理選擇設(shè)備和設(shè)施。需要了解廢氣的正常濃度、高濃度和低濃度，明確工藝過(guò)程中VOCs廢氣的排放特征和可能出現(xiàn)的意外因素。易反應(yīng)聚合的有機(jī)物(如苯乙烯)不宜采用蓄熱式焚燒爐。 呋喃水泥也是一種樹(shù)脂材料，耐熱性好，粘結(jié)強(qiáng)度高。是耐酸堿的理想粘結(jié)劑，能抵抗有機(jī)溶劑的腐蝕。在環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂等樹(shù)脂材料不適合的情況下，呋喃水泥也可以勝任。例如，它可以在被氫氟酸腐蝕的環(huán)境中使用。除耐腐蝕外，還具有固化快等優(yōu)點(diǎn)，在-5至10下均可正常固化。陜西RTO蓄熱式焚燒爐設(shè)備RTO設(shè)備運(yùn)行時(shí)的可靠度很高，在24h連續(xù)運(yùn)行中表現(xiàn)穩(wěn)定。
“VOCs治理工程的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理量確定，設(shè)計(jì)風(fēng)量應(yīng)按照廢氣排放量的105%以上進(jìn)行設(shè)計(jì)”；一般而言，會(huì)設(shè)置預(yù)留系數(shù)，按照工況的實(shí)際設(shè)定在1.1-1.2之間。 “兩室的蓄熱式焚燒爐凈化效率不宜低于95%，多室或旋轉(zhuǎn)式的蓄熱燃燒裝置的凈化效率不宜低于98%”，目前的現(xiàn)狀是三室的RTO裝置需求較多，如果業(yè)主在合同中對(duì)凈化效率有要求，如果有更高比如99%的要求，應(yīng)謹(jǐn)慎承諾。 “蓄熱焚燒裝置的熱回收效率”，熱回收效率不少人員會(huì)計(jì)算錯(cuò)誤，熱回收效率的基本定義是蓄熱燃燒裝置內(nèi)預(yù)熱廢氣實(shí)際利用熱量極限可利用熱量之比，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置進(jìn)口廢氣溫度。 自動(dòng)報(bào)警和保護(hù)裝置，應(yīng)按照要求設(shè)置，比如前段時(shí)間分享的文章中均有提及部分：精細(xì)化工行業(yè)RTO系統(tǒng)主體設(shè)計(jì)應(yīng)特別注意這5點(diǎn)；化工行業(yè)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試應(yīng)注意事項(xiàng)。
涂裝過(guò)程中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)主要有甲苯、二甲苯、三甲苯等。涂裝車間產(chǎn)生的有機(jī)廢氣主要來(lái)源于噴漆室、揮發(fā)室和干燥室。干燥室排出的煙氣具有風(fēng)量小、濃度高的特點(diǎn)，可采用蓄熱式焚燒爐直接處理。在高溫下，揮發(fā)性有機(jī)物被氧化分解，產(chǎn)生的熱量作為烘房的熱源。凈化后的空氣可以達(dá)到國(guó)家和地方的排放標(biāo)準(zhǔn)。噴漆室廢氣具有風(fēng)量大、濃度低的特點(diǎn)，廢氣中含有顆粒狀漆霧，粘度大、濕度大。所以需要用漆霧過(guò)濾廢氣，然后進(jìn)入沸石輪，將過(guò)濾后的廢氣濃縮。濃縮后成為高濃度低風(fēng)量氣體，再進(jìn)入旋轉(zhuǎn)RTO氧化處理。還能使噴漆廢氣和烘干廢氣共同參與吸附和濃縮。噴漆廢氣與高溫干燥廢氣混合后，由于溫度升高，相對(duì)濕度降低，節(jié)省了除濕的設(shè)備投資和運(yùn)行費(fèi)用，，減少了進(jìn)入RTO的廢氣量。每個(gè)地區(qū)、每個(gè)行業(yè)都有不同的處理要求，我公司的設(shè)計(jì)都滿足這些要求。
蓄熱式焚燒爐是一種高效的有機(jī)廢氣處理設(shè)備。其工作原理是將有機(jī)廢氣加熱到760攝氏度以上，使廢氣中的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)被氧化分解為二氧化碳和水。 氧化過(guò)程中產(chǎn)生的熱量?jī)?chǔ)存在特殊的陶瓷蓄熱器中，加熱到“蓄熱”。 陶瓷蓄熱體儲(chǔ)存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)的有機(jī)廢氣，這是陶瓷蓄熱體的“放熱”過(guò)程，從而節(jié)省了廢氣加熱過(guò)程中的燃料消耗。 蓄熱式焚燒爐旋轉(zhuǎn)RTO對(duì)VOCs的分解效率高達(dá)99.5%，熱效率高達(dá)97%。 進(jìn)出口溫差在20攝氏度左右，大限度地減少了RTO運(yùn)行時(shí)的熱量損失，保證了熱能的二次回收。 閥門(mén)平穩(wěn)連續(xù)的轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)排氣管壓力的影響只有25pa，這對(duì)于一些材料制造商來(lái)說(shuō)是極其重要的。 旋轉(zhuǎn)式RTO分解效率高，VOCs入口廢氣濃度可達(dá)10g/m3。切換閥是RTO焚燒爐進(jìn)行循環(huán)熱交換的關(guān)鍵部件。湖南蓄熱式焚燒爐設(shè)備
廢氣通過(guò)陶瓷蓄熱床時(shí)經(jīng)過(guò)充分預(yù)熱，并在燃燒室內(nèi)氧化成二氧化碳和水。遼寧三塔蓄熱式焚燒爐廠家
“VOCs處理項(xiàng)目的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理能力確定，設(shè)計(jì)風(fēng)量應(yīng)按廢氣排放量的105~120%以上設(shè)計(jì)”；一般來(lái)說(shuō)會(huì)設(shè)置儲(chǔ)備系數(shù)，根據(jù)實(shí)際工況在1.1-1.2之間。 “兩室蓄熱式焚燒爐的凈化效率不應(yīng)低于95%，多室或回轉(zhuǎn)蓄熱式燃燒裝置的凈化效率不應(yīng)低于98%?！蹦壳暗默F(xiàn)狀是三室RTO設(shè)備需求量較大。如果業(yè)主在合同中對(duì)凈化效率有要求，如果有更高的要求，比如99%，就要慎重承諾。 “蓄熱式焚燒裝置的熱回收效率”，很多人會(huì)在熱回收效率的計(jì)算上犯錯(cuò)誤。熱回收效率的基本定義是蓄熱式焚燒裝置中預(yù)熱廢氣的實(shí)際利用熱量與可用熱量的比值，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置入口的排氣溫度。 應(yīng)按要求設(shè)置自動(dòng)報(bào)警和保護(hù)裝置。比如前段時(shí)間分享的文章都提到了以下幾個(gè)部分：精細(xì)化工RTO系統(tǒng)的主體設(shè)計(jì)要特別注意這五點(diǎn)；化學(xué)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試中應(yīng)注意的問(wèn)題。遼寧三塔蓄熱式焚燒爐廠家