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天津歐特曝光機(jī)比較

發(fā)布時(shí)間:2024-12-16 23:44:36   來(lái)源:湖南暢影文化傳媒有限公司   閱覽次數(shù):2次   

對(duì)于曝光過(guò)程而言,曝光間隙的數(shù)值越小越好,但曝光間隙越小對(duì)玻璃基板的潔凈程度的要求也越高。當(dāng)異物(例如,污染物或微塵)進(jìn)入到曝光間隙中或者落在玻璃基板上時(shí),如果沒(méi)有及時(shí)發(fā)現(xiàn)異物的存在而進(jìn)行曝光的話,那么基板上的不明異物很有可能在曝光時(shí)對(duì)掩膜版造成污染甚至劃傷(此時(shí),需要更換掩膜版),或者在曝光后產(chǎn)生質(zhì)量不合格的產(chǎn)品,這兩種情況都將導(dǎo)致生產(chǎn)成本的升高并浪費(fèi)工時(shí)。,而目前所使用的曝光機(jī)多為接近式曝光機(jī),圖1示出了接近式曝光機(jī)的主要結(jié)構(gòu)的示意圖,該接近式曝光機(jī)可包括掩膜版1和玻璃基板2。紫外曝光機(jī),也稱光刻機(jī)。天津歐特曝光機(jī)比較

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LED曝光機(jī)優(yōu)點(diǎn)如下:1、采用進(jìn)口品牌LED光源,功率因素高,比普通汞燈省電約90%;散熱系統(tǒng),確保LED功率輸出強(qiáng)勁,光效高,光源使用壽命長(zhǎng)(超過(guò)20000小時(shí));3、無(wú)預(yù)熱時(shí)間,即開(kāi)即用,曝光時(shí)LED光源自動(dòng)啟動(dòng),曝光完畢自動(dòng)關(guān)閉,無(wú)待機(jī)時(shí)間;4、精密的光學(xué)透鏡折射技術(shù),使LED光源折射的平行角度小于2°;5、解析度可達(dá)50um,相比普通曝光機(jī)100um解析度提高了一倍;6、不產(chǎn)生紅外線,無(wú)熱輻射,避免菲林受熱脹縮,**提高影像轉(zhuǎn)移的品質(zhì);7、不含汞,不產(chǎn)生對(duì)人身有害的臭氧,使生產(chǎn)環(huán)境更安全、更環(huán)保;中國(guó)臺(tái)灣電子元器件曝光機(jī)哪家好曝光機(jī)還有多少你不知道秘密?

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被配置為:接收檢測(cè)裝置檢測(cè)到的異物的大小和位置信息;根據(jù)異物的大小控制清洗頭運(yùn)動(dòng)到異物的位置以執(zhí)行基板的清潔;在異物后,控制檢測(cè)裝置對(duì)基板進(jìn)行重新掃描,并控制曝光機(jī)對(duì)檢測(cè)合格的基板進(jìn)行曝光??蛇x地,所述清潔裝置還可包括用于對(duì)基板進(jìn)行清洗的清洗裝置和用于對(duì)清洗后的基板進(jìn)行干燥的干燥裝置,其中,所述清洗裝置包括所述清洗頭。可選地,所述控制系統(tǒng)進(jìn)一步被配置為:如果檢測(cè)裝置對(duì)基板重新掃描的結(jié)果顯示基板上仍然具有超過(guò)預(yù)定尺寸的異物,則直接排出所述基板??蛇x地,所述清洗裝置還可包括用于儲(chǔ)存二流體混合液的洗液槽以及連接在清洗頭和洗液槽之間的管道。可選地

直流電動(dòng)機(jī)根據(jù)勵(lì)磁方式不同可以分為刷式直流電動(dòng)和無(wú)刷直流電動(dòng)兩種形式。與交流異步模型不同,直流模型提供了更高精度和可控性,在各種精密儀器、自動(dòng)化控制系統(tǒng)以及航空航天等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。3.細(xì)小型號(hào)的馬達(dá)它們通常運(yùn)用于手機(jī)震動(dòng)器、玩具馬達(dá)及各類小型精密儀器中,其功率通常在數(shù)百毫伏以下及幾瓦以下,并具有較高的噪音指數(shù)。需要注意的是,廢舊電機(jī)屬于電子垃圾。不同種類電機(jī)的回收方式也有所不同。在回收過(guò)程中,需要對(duì)其進(jìn)行分類,并采用不同的處理方式以實(shí)現(xiàn)資源重復(fù)利用的智能控制系統(tǒng)解決方案提供商,主要業(yè)務(wù)涵光刻機(jī)和曝光機(jī)有什么區(qū)別?

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當(dāng)異物(例如,污染物或微塵)進(jìn)入到曝光間隙中或者落在玻璃基板上時(shí),如果沒(méi)有及時(shí)發(fā)現(xiàn)異物的存在而進(jìn)行曝光的話,那么基板上的不明異物很有可能在曝光時(shí)對(duì)掩膜版造成污染甚至劃傷(此時(shí),需要更換掩膜版),或者在曝光后產(chǎn)生質(zhì)量不合格的產(chǎn)品,這兩種情況都將導(dǎo)致生產(chǎn)成本的升高并浪費(fèi)工時(shí)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明提供了一種能夠檢測(cè)并基板上的異物以對(duì)檢測(cè)合格的基板進(jìn)行曝光的曝光機(jī)。為此,根據(jù)本發(fā)明,提供了一種曝光機(jī),用于對(duì)基板進(jìn)行曝光,其特征在于,所述曝光機(jī)包括:檢測(cè)裝置,檢測(cè)基板上的異物;清潔裝置,用于清潔異物,掃描式曝光機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別。福建網(wǎng)版曝光機(jī)廠家

曝光機(jī)的作用是什么?天津歐特曝光機(jī)比較

掩膜臺(tái)掩膜夾具類型真空吸附和機(jī)械夾取均勻光束大小4.25"X4.25"支持接近式曝光,各種接觸式(真空接觸、軟接觸、硬接觸等)曝光接觸式曝光特征尺寸:0.35um@深紫外DUV:0.5um@近紫外NUV;0.6um@紫外UV;接近式曝光特征尺寸:1um@Gap為20um;2um@Gap為50um;折疊編輯本段用途更廣范圍(UV,DUV,NUV)的紫外光波長(zhǎng)選擇,出射光強(qiáng)范圍:8mW/cm2~40mW/cm2支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。常見(jiàn)曝光機(jī)舉例:MYCRO美國(guó)制造的恩科優(yōu)(N&Q)紫外曝光系統(tǒng),適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學(xué),微機(jī)電系統(tǒng),凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的應(yīng)用。天津歐特曝光機(jī)比較

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